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一种组分可控的硼碳氮薄膜的制备方法

发布时间:2018-04-03 18:07:00
发明人:章嵩、吴俊、涂溶、王传彬、沈强、张联盟;一种组分可控的硼碳氮薄膜的制备方法,2015,中国,201510195661.9
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