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科研成果

一种立方碳化硅薄膜的制备方法

发布时间：2018-04-03 18:04:00
发明人：章嵩、徐青芳、涂溶、Takashi GOTO、张联盟；一种立方碳化硅薄膜的制备方法，专利申请号：201410317559.7
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